Physik Instrumente長(cháng)行程物鏡掃描儀

Physik Instrumente長(cháng)行程物鏡掃描儀

P-725.xCDE2 PIFOC

用于顯微鏡物鏡的高精度定位器和掃描儀

行程范圍達 800 µm

與電動(dòng)驅動(dòng)器相比，響應速度明顯更快，使用壽命更長(cháng)

具有亞納米分辨率的物鏡精細定位

使用電容式傳感器進(jìn)行直接位置測量：高線(xiàn)性度

與 Metamorph® 成像軟件兼容

? 29 mm 大通光孔徑

Physik Instrumente長(cháng)行程物鏡掃描儀應用領(lǐng)域

超分辨率顯微鏡

光盤(pán)顯微鏡

共聚焦顯微鏡

2光子顯微鏡

3D 成像

篩選

干涉測量法

測量技術(shù)

自動(dòng)對焦系統

生物技術(shù)

半導體檢測

PICMA® 壓電執行器具有出色的使用壽命

PICMA® 壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受因漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA® 執行器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣執行器長(cháng)十倍。已證明 1000 億次循環(huán)無(wú)一次故障。

具有電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，無(wú)需接觸。它們保證出色的運動(dòng)線(xiàn)性度、長(cháng)期穩定性和 kHz 范圍內的帶寬。

零間隙撓性導軌實(shí)現高導向精度

撓性導軌免維護、免摩擦和免磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們在很寬的溫度范圍內工作。

運動(dòng)P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2寬容

活動(dòng)軸ZZZ 

Z 軸行程范圍100微米400微米800 微米+20 / -0 %

Z 軸行程，開(kāi)環(huán)120微米420微米840 微米±20%

Z 中的線(xiàn)性誤差0.01%0.01%0.02% 

偏航（θX 方向的旋轉串擾，Z 方向的運動(dòng)）± 10 µrad± 10 µrad± 50 µrad 

音高（θY 方向的旋轉串擾，Z 方向的運動(dòng)）± 10 µrad± 45 µrad± 50 µrad 

定位P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2寬容

Z 軸系統分辨率0.2 納米0.2 納米0.8 納米 

Z 軸分辨率，開(kāi)環(huán)0.1 納米0.1 納米0.4 納米類(lèi)型。

Z 軸小增量運動(dòng)1納米4納米5納米 

Z 軸 10% 步長(cháng)的穩定時(shí)間14 毫秒22 毫秒39 毫秒±10%

Z 軸位置噪聲0.1 納米0.1 納米0.4 納米大限度。

集成傳感器電容式直接位置測量電容式直接位置測量電容式直接位置測量 

傳感器噪聲，1 西格瑪0.2 納米0.2 納米0.8 納米 

點(diǎn)重復性，10% 步長(cháng)，1 西格瑪10納米10納米50納米 

驅動(dòng)器屬性P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2寬容

驅動(dòng)器類(lèi)型PICMA®PICMA®PICMA® 

Z 方向的電容3.2 µF6.4 µF12.8 µF±20%

機械性能P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2寬容

指導帶杠桿放大的撓性導軌帶杠桿放大的撓性導軌帶杠桿放大的撓性導軌 

Z 軸剛度0.5 牛頓/微米0.25 牛頓/微米0.07 牛/微米±20%

Z 軸共振頻率，負載 150 g290赫茲175赫茲110赫茲±20%

Z 軸諧振頻率，空載680赫茲400赫茲230赫茲±20%

物鏡直徑39 毫米39 毫米39 毫米大限度。

允許的 Z 軸推力100牛100牛100牛大限度。

Z 方向的許用拉力20牛20牛20牛大限度。

總質(zhì)量280 克280 克350 克±5%

材料不銹鋼、鋁不銹鋼、鋁不銹鋼、鋁